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YJ-20B5L/PA双面研磨/抛光机
  • 产品名称： YJ-20B5L/PA双面研磨/抛光机

　　本机器主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光，也适用于其它金属、非金属、光学玻璃等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。

　　机器采用四电机驱动，下盘、上盘、内齿圈和太阳轮分别由电机单独驱动。
　　机器整体结构紧凑，运行平稳，有效地缩短各传动轴的长度，增加机器的机械刚度。
　　内齿圈、太阳轮同步升降并采用点动操作方式。
　　上盘装置增加机械的安全装置，在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降，增加了安全性。
　　通过改变内齿圈、太阳轮的速度，调整实现游星轮的正、反转。

上(下)盘尺寸:

φ1355×φ457×50(mm)

工件厚度：

最大：40(mm)    最小：0.5(mm)

工件直径：

最大：φ440(mm)

下盘转速：

0～50(rpm)

游星轮数量：

5 

游星轮参数：

Z=170      Mn=3

上盘压力范围：

20～700(Kg)

电源／耗电量:

3相-380V／30KVA

气源／耗气量：

0.5(Mpa)／30(L/min)  

主机尺寸：

2650×1850×2750(mm)

机器重量：

～8000(Kg) 

                6英寸蓝宝石

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